臺(tái)式光刻機(jī)

簡(jiǎn)要描述：臺(tái)式光刻機(jī)參數(shù)：1.最大曝光面積:160mm*160mm。⒉.曝光分辨率:1um(膠厚≤0.5um的正膠)。3.對(duì)準(zhǔn)精度:±1um(標(biāo)準(zhǔn)晶圓拋光片)。4.光源強(qiáng)度:35mW/cm2。5.曝光波長(zhǎng):LED光源(進(jìn)口燈珠，壽命>1萬(wàn)小時(shí))

所在城市：無(wú)錫市
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新日期：2024-11-07
訪問(wèn) 量：228

產(chǎn)品分類

相關(guān)文章

詳細(xì)介紹

　　臺(tái)式光刻機(jī)參數(shù)：

　　1.最大曝光面積:160mm*160mm

　　⒉.曝光分辨率:1u m(膠厚≤0.5um的正膠)

　　3.對(duì)準(zhǔn)精度:± 1um(標(biāo)準(zhǔn)晶圓拋光片)

　　4.光源強(qiáng)度:35mW/cm2

　　5.曝光波長(zhǎng):LED光源(進(jìn)口燈珠，壽命>1萬(wàn)小時(shí))

　　6.曝光方式:定時(shí)(倒計(jì)時(shí)方式)

　　7.掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)范圍:X:優(yōu)于±5mm;

　　8.Y:優(yōu)于±5mm;0:優(yōu)于±6°

　　9.掩模尺寸:7英寸，樣片規(guī)格:6英寸(晶圓片)

　　10.數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙

　　11.掩模樣片分離間隙:6 =O-500um連續(xù)可調(diào)

　　12.對(duì)準(zhǔn)方式:自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)，可根據(jù)客戶需求，增加對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的類型，累計(jì)不超過(guò)4組

　　13.自動(dòng)輸片:機(jī)械手自動(dòng)輸片(專用樣片機(jī)械手臂及片叉)，含預(yù)對(duì)準(zhǔn)定位功能

　　14.顯微掃描范圍:Y:± 40mm(數(shù)字設(shè)定)

　　15.具備正壓氣浮曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能CCD+遠(yuǎn)心鏡頭+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像

　　16.調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)

　　17.雙物鏡可調(diào)距離范圍:30mm-130mm

產(chǎn)品咨詢

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細(xì)地址：
補(bǔ)充說(shuō)明：
驗(yàn)證碼：

請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果（填寫(xiě)阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

上一篇：實(shí)驗(yàn)室光刻機(jī)
下一篇：沒(méi)有了

97亚洲狠狠色综合久久久久-色综合天天综合网国产成人网-久久亚洲精品中文字幕-来一水AV@lysav

臺(tái)式光刻機(jī)

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細(xì)地址：

補(bǔ)充說(shuō)明：

驗(yàn)證碼：